六氟化鎢傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-10-21

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

氣體傳感器

PM2.5傳感器甲醛傳感器空氣質(zhì)量檢測(cè)儀冷媒傳感器油煙傳感器船用激光甲烷傳感器揚(yáng)塵檢測(cè)儀呼氣末CO2模塊二氧化碳傳感器

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六氟化鎢傳感器傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點(diǎn)監(jiān)測(cè)。

六氟化鎢傳感器傳感器產(chǎn)品特性

使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度

無(wú)耗材

模擬/數(shù)字通信

模塊化設(shè)計(jì)，便于集成

六氟化鎢傳感器傳感器技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)原理	NDIR
檢測(cè)氣體	SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測(cè)限	1ppm